硅化物是一种含有硅及其他金属的化合物。

硅的金属性比碳要来的强。而硅化物的结构比起碳化物来讲，它更接近硼化物。

和硼化物、碳化物相似的地方是，硅化物的组成一样不能轻易地形成共价分子。形成硅化物的化学键分类，可分成共价或离子。硅化物包含了除了铍以外的所有非过渡金属。

水银，铊，铋和铅可溶于液态硅而形成硅化物。

在硅化物中，有很多种结构：

第1族或第2族的硅化物（如Na2Si和Ca2Si）与水反应会产生氢和(或)硅烷。而过渡金属的硅化物却与前者相反，通常在水溶液中是不反应的（氢氟酸除外）；然而，他们如果透过一些媒介来反应的话，会非常剧烈：像是熔融态的氢氧化钾或是氟和氯在高温下。

硅化物的形成反应称为硅化。这种反应只有对像熔掉金属（这些降温后形成金属硅化物）直接接触芯片，因此，这一过程是自对准。普遍用于MOSF/ CMOS 源极、汲极和多晶硅栅极的欧姆接触。

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