热电离质谱法（英语：thermal ionization mass spectrometry，简称TI-MS），是通过加热使原子电离后引入质谱仪分析。能从Li到U的大部分元素。主要用于同位素分析

热电离质谱仪主要组成部分是：

主要用于精密同位素分析，一般不能测试气体元素。

优点是灵敏度高，测试速度较快，进行同位素分析。缺点是对操作人员技术要求、对环境要、运行成本和仪器售价都很高，